湿法清洗即使用化学溶剂或者去离子水清洗 晶圆。 湿法清洗按照工艺方法可分为浸泡法和喷涂 法两种,如图 3 所示。 浸泡法是将晶圆浸入到装有 化学溶剂或者去离子水的容器槽中。 浸泡法是广泛 使用的一种方法, 尤其是针对一些比较成熟的节 点。 而喷涂法是将化学溶剂或者去离子水喷到旋转 的晶圆上以去除杂质的方法。 浸泡法可以同时处理 多个晶圆,喷涂法一个作业腔室只能同时处理一片 晶圆。 随着工艺的发展,清洗工艺的要求越来越高, 喷涂法的使用也越来越广泛。 1.2 干式清洗 顾名思义,干式清洗就是不使用化学溶剂或者 去离子水等物质,而是采用气体或等离子体等来进 行清洗的工艺。 随着技术节点的不断推进,清洗工 艺的要求越来越高 [9-10] ,使用的比例也在不断增加, 湿法清洗产生的废液也是大量增加。
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【嘴巴附近的痣】 嘴唇上方 如果痣长在人中,说明此人感情丰富,多愁善感,适应能力不强,很容易会被周围的环境所影响。 生活中很容易被情绪所左右,经常遇到事情的时候会不知所措,无法理智冷静的做出反应。 会女人易患妇科方面的病痛,孕育子女困难,子女容易体弱多病或者发生一些意外。 如果痣长在鼻子下方,会有好的姻缘和财运,会遇到对的人,不会经历太多的感情波折,结婚后对方也是比较体贴,生活如意,财运也渐渐越来越好,是吉祥如意的象征,可视为吉兆。 上嘴唇长痣的人多愁善感,多为别人着想,朋友运很不错,对物质生活很依赖,喜欢吃美食,食禄运颇佳。 多数重视物欲、食欲享受,基本上是饮食男女的典型性格。 心直口快,比较容易得罪人;命中忌水,犯水险。 防止遭遇水难;如若为女命,则代表婚姻不顺,与伴侣感情容易出现波折。
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