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半导体制造中的湿法清洗技术

湿法清洗即使用化学溶剂或者去离子水清洗 晶圆。 湿法清洗按照工艺方法可分为浸泡法和喷涂 法两种,如图 3 所示。 浸泡法是将晶圆浸入到装有 化学溶剂或者去离子水的容器槽中。 浸泡法是广泛 使用的一种方法, 尤其是针对一些比较成熟的节 点。 而喷涂法是将化学溶剂或者去离子水喷到旋转 的晶圆上以去除杂质的方法。 浸泡法可以同时处理 多个晶圆,喷涂法一个作业腔室只能同时处理一片 晶圆。 随着工艺的发展,清洗工艺的要求越来越高, 喷涂法的使用也越来越广泛。 1.2 干式清洗 顾名思义,干式清洗就是不使用化学溶剂或者 去离子水等物质,而是采用气体或等离子体等来进 行清洗的工艺。 随着技术节点的不断推进,清洗工 艺的要求越来越高 [9-10] ,使用的比例也在不断增加, 湿法清洗产生的废液也是大量增加。

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